公开号：	US2007231490A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	均匀蒸发金属和有机材料
摘要：	混合和沉积，分别蒸发第一和第二材料在基板表面成膜的方法，其中第一材料金属材料，第二个是非金属，其中包括多种混合处理方法，使材料气化到基板表面，提供可单独气化的第一和第二材料及第一和第二的加热元件，加热元件可使被处理物料的在一个可控的速率下蒸发，使蒸发材料，包括金属，使他们混合，随后沉积到衬底表面形成一层膜，包括金属层。