公开号：	US2007209433A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	热量气流传感器及其形成方法
摘要：	热量气流传感器及其形成方法。传感器有一个基底和一台安装在基底上的加热器。至少一对热传感元件安装在基底上加热器的任一边。防护层至少安装在加热器和/或热传感元件上。防护层包括一块高温抗性聚合物基极层，更确切的说是含氟聚合物基极层。防护层也覆盖了互联和在基体形成的电子连接，以便完全地密封传感器。钝化层，例如氮化硅，可以安装在传感和/或发热设备上，并且随意地互联以及干预防护层和基底。