公开号：	US2006272739A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	用于液滴控制的均匀分布喷管【摘要】
摘要：	本专利介绍一种均匀分布喷管的设备和方法，该设备用于降低集成电路制造过程中的损毁率。具体来讲，喷管的末端结构进行特殊处理，使得流体压力可以增加或减小，当喷管没有均布时有助于控制流体液滴。