公开号：	US2007023095A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	真空室入口装置【摘要】
摘要：	本专利介绍一种真空室入口装置，该装置包括一个供气单元（10），多个流动控制单元（20），以及多个输气单元（30）。供气单元包括一个入口（11）和多个出口（12）。流动控制单元分别与输气单元的出口连接。每个输气单元都有一个左端口（31）和一个右端口（32）。左端口与流动控制单元连接，右端口安装在真空室上。右端口同时形成了出气口（33）。