公开号：	US2008116411A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	带高温额定值的阀门【摘要】
摘要：	本专利介绍一种阀门，该阀包括一个阀座和一个移动隔板。阀座上设计有一个流孔，阀座至少有一部分是由聚苯并咪唑制作的。隔板的形状刚好可以挡住流孔，以阻碍流体流经流孔。该阀适用于半导体加工系统的高温区域。