公开号：	US2008142102A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	用于高纯度流体处理系统的止回阀和泵【摘要】
摘要：	本专利介绍一种单通道、自动启动、无弹簧的止回阀，用于高纯度流体处理系统和设备，该止回阀包括多个泵和多条流道，还包括一个固定的弹性可变形阀门组件，与阀座一起配合使用，限制流体单向流动。当流动压力达到一个预定值时，阀门组件会相对阀座发生弯曲。该止回阀安装在高纯度计量泵上。