公开号：	US7331492B2
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	防液滴分流喷管【摘要】
摘要：	本专利介绍一种分流喷管装置及其使用方法，该装置用于减少集成电路制作流程中的故障。实际使用过程中，喷管末端用于分流液体的结构，可以根据压力的改变而增加或减少，从而有助于喷管不分流时控制液滴。