公开号：	US2006172485A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	用乙醇制备金属氧化物的系统及方法
摘要：	本专利发明了一种在基片上（尤其是半导体基片或组装的基片）制备金属氧化物的方法(包括设备)，该方法采用气相沉积工艺，原料为一种或多种乙醇和一种或多种金属前躯体。