公开号：	US2007144458A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	燃烧设备
专利名：	薄膜沉积物的高稳定性和高容量前体蒸汽产生
摘要：	本发明涉及一种使会在基片上产生薄膜沉淀物的液体蒸发的设备。这种设备包含带有入口、出口和贮液器的空间。控制贮液器内液面保持在恒定水平。气体通道沿着多孔金属壁面延伸，来通纳从贮液器来的液体，气体载体沿多孔介质金属壁面，形成适合薄膜沉积物的气体/蒸汽混合物。