| 摘要： | 本发明是在恒温液循环装置中减小外部装置热负荷变动引起的循环液温度变化幅度，使外部装置的性能稳定化。在利用泵来输送恒温循环液的管路的送出口和返回口处，在外部装置的连接循环液配管的恒温液循环装置中，在上述管路中，设置流量传感器、用于检测从该管路来的循环液的送出温度(T1)和循环液的返回温度(T2)的温度传感器，按照根据这些输出而求出的外部装置的热负荷，利用控制器，来控制循环液的流量和温度。该控制，在送出和返回温度的差小于设定值的情况下，利用循环液温度控制来适应该热负荷；在该温度差大于设定值的情况下，除了上述温度控制外，还对外部装置的配管增加循环液流量，使其适应上述热荷。 |