公开号：	US7250616B2
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	温度调节装置，曝光装置和这些设备的制作方法
摘要：	本专利涉及一温度调节装置用来调节光学元件的温度，此温度调节装置包含一个带有第一辐射元件的第一辐射机构，第一辐射元件传递光学元件预定区域之间的辐射热同时调整光学元件的温度；此外，一屏蔽元件用来减少辐射热传递到其他区域，使其他区域的热量小于辐射热量来自第一辐射元件的预定区域。