| 摘要： | 本发明是关于真空装置，此真空装置中包含多个平行连接的低温泵（10）。至少一个压缩机（16）经过工质供应管路（12）与低温泵（10）相连。工质回流管路（14）与压缩机（16）和低温泵（10）相连。在工质供应管路（12）与工质回流管路（14）之间是工质贮存容器（20）。压力测量装置（30）布置在工质供应管路（12）中。压力测量装置（30）经过控制元件（32），与供应阀（26）相连。为使低温泵（10）的压力差保持常态，当工质供应管路（12）内的压力超出临界值，供应阀（26）会开启，以使工质流入贮存容器（20）。 |