公开号：	US2007089852A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	加热与冷却设备，装备此设备的真空处理设备
摘要：	本发明是关于可使批处理成为可能，生产能力可得到提高，并更加紧凑与低能耗的加热与冷却装置。能同时定位多个底座的一个加热腔室的底座和一个冷却腔室的底座，在只有一个真空处理腔室的加热与冷却装置中被热隔离。加热腔室的底座装备有相连或不相连的多个底座定位空间。冷却腔室底面也装备有相连或不相连的多个底座定位空间。相连的底座定位空间允许底座的成批热处理，而不相连的底座定位空间允许成批或个别的底座处理。