公开号：	US2007089853A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	曝光设备及装置制造方法
摘要：	本发明是关于某个具有能被冷却并能应用于曝光底片的元件的设备。此设备包括容纳液体冷却剂的贮液器，第一泵被布置于贮液器与元件之间，用于将冷却液从贮液器供给元件，加热器被布置于第一泵与元件之间，用于加热来自第一泵的冷却液，水套用于接收来自加热器冷却液，以冷却元件，第二泵补布置于水套与贮液器之间，用于将冷却液从水套供至贮液器，冷却器布置于第二泵与贮液器之间，用于冷却来自第二泵的冷却液。