公开号：	US2006174510A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	带干燥功能的晶片研磨轮
摘要：	本发明涉及一种支撑和旋转盘形基板的研磨轮，其包括一个轮子，周边带有沟槽以支撑基板边缘，并且至少有一个径向通道从所述的沟槽一直延伸到轮子中。同时描述了处理盘形基板的研磨轮干燥器及其方法。