公开号：	US2006191160A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	蒸汽收集方法和设备
摘要：	本发明涉及一种用于处理无限长移动基板的设备和方法。该设备有一个控制面，靠近基板表面，基板和控制面之间有一控制间隙。控制面附件有第一空腔，该空腔配有一个气体导入装置。第二空腔也位于控制面附件，该空腔配有一个气体排出装置。控制面和两空腔连在一起，构成一个区域，其中，相邻的气态具有一定的质量。在该区域，通过诱导一部分质量，控制质量流量，大大降低相邻的气态成分的稀释。这就是通过控制气体流的导入，和系统中压力梯度的原因，从而降低周边不可控制气体流的流量的方法。