公开号：	US2006207120A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	具有基板加热功能的基板载放机构
摘要：	本发明提供一种设置在基板处理装置的处理容器内的基板载放机构，包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接所述供电部件与所述连接端子部的弹簧部件。