公开号：	US2006216651A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	用于干燥基板的方法和系统
摘要：	本发明揭示了一种干燥设备和方法。干燥设备包括一个干燥室和一个加热装置，用于向干燥室内提供热空气。加热装置包括一个线圈，可以通过热的液体，当空气经过时被加热。热的液体由内部或者外部连接在干燥设备上的热源供热，至少在某些实施例中，热水是由液体加热装置提供，安装在干燥设备的内部。至少在某些实施例中，热空气通过干燥室后，返回到加热装置，并不断循环。至少在其中一些实施例中，向干燥室散热后的热空气会通过一个冷凝装置，可去除空气中的水分，然后再返回到加热装置。