公开号：	US2006225299A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	基板传递方法
摘要：	本发明揭示了用于控制基板传递室中污染的一种方法，用于大多数基板集装箱的装货港口和基板处理模块之间，该处理模块包括想基板传递室内供应净化空气，来净化基板传递室内部，还包括采用其他循环管道向基板传递室循环供应净化其他，通过循环的净化空气清除颗粒和空气分子污染物，以及向基板传递室补给循环的净化空气。