公开号：	US2006260149A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	用于处理半导体基板的导波板
摘要：	本发明涉及一种导波板，其包括一块水平支撑板，且至少有三块垂直板与支撑板表面相连。每块垂直板都有一个垂直的台面，并且在垂直台面的顶面有一个向上的凸面。凸面之间的空隙区域用于支撑导波板的槽口。当从顶部往下看时，槽口的侧壁有一个凸状轮廓，当从垂直板交叉的方向看时，槽口的底面也有一个凸状轮廓。