公开号：	US2006272174A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	沉积室干燥系统和其中的使用方法
摘要：	本发明提供一种用于沉淀室在使用之前清除污染水分的系统和方法。干燥空气，首选干热空气，将其吹进沉淀室，在这里吸收和清除水分。通过一个干燥系统来实施，本系统包括一个吹风机和一个干燥器。沉淀室还提供一个真空源，可以使用同一条线路将其与沉淀室相连，作为干燥源使用，或者通过一条独立的线路进行连接。在这种冲洗方法过程中，干空气可以循环通过沉淀室，或者干空气可以连续的通过沉淀室。一台换热器也可以提供热空气的有效再利用，用于补充干燥系统。本干燥系统和方法特别适用于磁控管溅射沉淀室的净化。