公开号：	US2006283041A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	真空处理装置及其操作方法
摘要：	本发明涉及一种真空处理装置，有一个固定的处理室24和两个可移动的负载闸室28a和28b。一个闸阀26安装在处理室24上，并且闸室28a和28b上各有一个闸阀30。通过预处理室移动机构34在Y方向上移动两个负载闸室28a和28b。真空密封54安装在处理室闸阀26的边缘，且是可伸展和收缩的，使得在闸阀26和真空密封30之间出现一定的空隙，当伸展的时候两者相互靠近。此外，基板运送机构用于输送基板2，让其在处理室24和两负载闸室28a和28b之间运动。