公开号：	US2006291832A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	发光型热处理仪
摘要：	本发明涉及一种热处理仪。闪光灯发出的闪光穿过一光学窗口，该窗口是用钳环固定在半导体晶片上的一个开口。因为钳环的开口是椭圆形构造，由钳环固定的光学窗口也是一种椭圆形构造。钳环安装到一个腔室上，这样光学窗口的反面边缘部分面对着半导体晶体边缘部分，如果闪光灯发出的闪光穿过光学窗口的话，该部分有相对较低的温度，假设光学窗口是圆形构造，光学窗口的反面边缘部分位于椭圆形构造的短轴处。让闪光穿过光学窗口会增加周围部分的温度，因此在闪光加热过程中，会改善半导体晶体的温度均匀性。