公开号：	US2006291833A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	可切换的反射墙的概念
摘要：	本发明提供一种加热基板的方法和装置，如半导体基板。根据目前揭示的内容，热处理室至少包括一个反射器。反射器根据温度，反射器上电磁辐射强度，或者反射器上电磁辐射光谱的变化而发生反射率变化。这样，反射器的反射率就可在热处理过程中得以控制。如此，基板的温度也可得以控制或者其他方式。