公开号：	US2006291834A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	用于热处理基板的方法和设备
摘要：	本发明揭示的对象是使用高温计测量温度，以一种简单经济的方式，能够精确测量温度，甚至是低温。本发明揭示一种用于热处理基板的方法和设备，其中，基板至少有第一和第二辐射，预定的第一辐射的波长在第一辐射源和基板之间被吸收，使用辐射探测仪（安装在第二辐射源的同侧）在预先确定范围内测量基板发出的辐射，调整和确定从第二辐射源发出的第二辐射。