公开号：	US2007011905A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	使用动态弯液面处理基板的方法和系统
摘要：	本发明提供一种用于第一表面到第二表面之间移动弯液面的系统和方法，包括头部和第一表面之间形成一个弯液面。弯液面可以从第一表面到可调整的第二表面之间移动，可调整的第二表面与第一表面平行。移动弯液面的系统和方法也可以用于沿着基板边缘移动弯液面。