公开号：	US2007022623A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	激光器表面干燥
摘要：	本发明涉及准分子激光器半导体晶片表面的干燥。准分子激光器用来产生激光束。激光束的能流通过功率衰减器进行变化。传递到表面的脉冲数量由快门进行控制，其可以阻止激光束或者允许其通过。激光束穿过一系列镜片传到表面。一测量设备监控晶片上的液体来确定液体是否已经被蒸发。