公开号：	US2007025708A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	晶片加热设备和设置设备的方法
摘要：	本发明涉及一种晶片设备，其包括一个加热板，一个箱体（用于支撑和固定加热板），加压臂（交叉放置在箱体和加热板上），和臂控制单元（垂直移动加压臂，使其向箱体移动）。多个加压臂和臂控制单元沿着加热板的四周布置，并且可以抵偿因施压而使加热板出现弯曲现象。加热板的弯曲可以有效抵偿，并且晶片可以加热到均匀温度。