公开号：	US2006216665A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	加热设备，涂层和开发设备，以及加热方法
摘要：	本发明提供的加热设备包括一块加热板（其上安装有基本），一块顶板与基板相对，一个排气部件（安装在加热板的一端，用于排放加热板和顶板之间的气体），一个废气排放部件（与排气部件相对），以及一个加热部件（分别加热基板的第一区和第二区）。加热过程采用单向热流来加热第一区和不同温度的第二区，形成良好的晶片均匀性。