公开号：	US2007190474A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	用于控制系统的系统和方法
摘要：	本发明涉及一种系统，至少包括一个半导体制造工艺设备，配备有风扇，提供向下流动的空气。一个传感器安装在导管上或内，该导管流畅地耦合在半导体制造工艺设备上，用于释放工艺排出的流体。传感器用于检测导管内排出流体的流动特性，并能发出表面特征的信号。一个处理器耦合在传感器上。一个通风设备耦合在处理器上。处理器将流体特性与至少一个预设定值进行比对，从而来控制通风设备。