公开号：	US2008142497A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	使用一个两级工艺板快速导热冷却
摘要：	本发明描述了一种热处理基板的方法和设备。设备包括有一个基板支撑件，通过电磁驱动线性和/或旋转运动。基板支撑件也可接收辐射热，从而为腔室中产生加热区域。一个活动的冷却区域包括一块冷却板，冷却区域位于加热区域的对面。基板可在这两个区域之间移动，从而快速实现基板的加热和冷却。