公开号：	US2008145810A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	罩
摘要：	本发明提供一种罩，适合于半导体工艺炉。该炉包含多个喷油器和一个基底，并且罩安装在炉的基底上。该罩包括一个圆形盘和一个外圈。外圈安装在圆板的外边缘，并从圆形盘的表面向上延伸。外圈有一个缺口，缺口足以容纳下喷油器。