公开号：	US2006289432A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	基板热处理设备
摘要：	本发明提供用于热处理基板的一种基板热处理设备，其包括一个烘烤板（其上表面有突出的部分），一个密封单元（安装在烘烤板的上表面周围，用于封闭基板的底面和烘烤板的上面之间形成的微小空间的侧面），和排气孔（用于微小空间的排气）。安装在烘烤板上的基板通过微小空间内从排气孔排出的气体进行热处理。