公开号：	US2008164244A9
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	运送固体化学前体
摘要：	本发明提供系统和方法，用于运送固体化学前体。在目前某些具体实施例中，使用流动监测、压力传感器或者温度传感器来测量和调整气化固体前体物质是从汽化室向沉积室的流动。为了避免在运送线上固体前体材料的凝固，在反馈回路上安装有一个控制器，来调整现有的蒸汽量。本发明还揭示和说明了其他的实例。