公开号：	US2008241046A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法和设备
摘要：	本发明涉及一种流化床工艺，用于生产粒状多晶硅，除了反应气体，气体含有99.5%到95%mol氢和0.5%-5%mol气态硅化物，并且相比反应区，反应器壁维持在相同或者更高的温度，从而可以最小化反应器内部硅的沉积。