公开号：	US2006236710A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	制冷、干燥及热交换器
专利名：	集成电路散热MEMS热泵
摘要：	本发明涉及一种集成电路的冷却装置，其包括内置泵，用于封闭循环通道内循环导电流体。冷却通道嵌入集成电路芯片内，如金属液面间的中级电介质层。通过处理焊层上的水垢至线槽形成通道，并沿着线槽形成连续空隙。有代表性的热泵包括腔体，与通道相连形成，压电驱动器覆盖在上；更可取的是，驱动器用金属线连接，依次作为蠕动泵工作，在通道内循环液体。放置通道，使其能够从集成电路的有源器件传导热量，而且散热片也能从模具传导热量。