公开号：	US2006191351A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	密封式电容传感器
摘要：	一个密封式的电容传感器包括由隔膜做成的基板的电容底层。电容的第二个固定板和隔膜以一个已经定义的电介质间隙相互隔开，并且以一中介质将基片和固定板相互连接，以一种完整的结构将间隙密封起来。