公开号：	US2006201232A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	湿度传感器的检测仪器以及调整湿度传感器特性的方法
摘要：	本文提出的一种湿度传感器的检测装置具有一个传感器部分和一个电路部分，这两个部分集成到一个芯片上。该检测装置包括;一个检查孔用来检查有多个多元化的湿度传感器作为一个传感器芯片并集成在上面的晶圆；用于连接电路部分中电极垫的一个探针；一个检验器通过电气连接到探针上，这个检验器是为了检查湿度传感器的电气特性；以及用来控制检验室的温度和湿度的温度湿度控制部分。