| 摘要： | 本文提出了一种应用于精密控制仪器中的微力测量的传感器。该装置包括一个悬臂结构，这个悬臂结构由一个由压电材料层构成的驱动器和一个压电材料的敏感层压制在一起组成的.当外部力量作用在传感器上的时候，传感器就发生变形，并且这个外部压力信号就会被传感器记录下来。该外部作用力信号就会通过一个伺服传递函数或者一个伺服控制系统反馈给传感器的驱动层。然后伺服驱动系统就会产生一个力迅速对外力引起的形变产生反抗作用以达到平衡。一旦平衡了，传感器横梁就会恢复到直的状态，并且尖端会依然保持在平衡位置，传感器的刚度必须是非常好的，以使传感器横梁的尖端能够精确控制，在同一时间我们就可以从驱动层为了抵消变形的驱动电压得知外界的微力。 |