公开号：	US2007034773A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	检查系统的自动对焦
摘要：	对样品光学检测装置包括一个探测器组件，它被配置为从样品中心区域接收辐射，还有传输机制，这是用来将动作告知至少一个的探测器组件和样品，使该探测器聚焦区域随样品沿传输路径移动。一个高度传感器被放置在一个已知位置，该位置和探测器组件相关，以高度传感器测量高度调整到预定高度沿传输路径移动。一个控制器，以确定适合的距离探测器的高度，根据探测器测得的高度，作出反应。