公开号：	US2007047069A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	8镜面光刻投影装置
摘要：	本设计的投影装置提供从物平面发出到像平面的光束的一个光路。本投影装置包括8个镜面。光路是由8个镜面在不遮蔽的情况下形成的。