公开号：	US2007063614A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	微振元及其驱动方法
摘要：	微振元包括一个可移动的主要部分，一个第一框架和一个第二框架，以及一个第一连接装置，用于连接可移动的主要部分和第一框架，并定义与第一框架有关的主移动单元的旋转运动为第一旋转轴。微振元还包括一个第二连接装置，连接第一框架和第二框架，将与第二框架有关的第一框架和可移动的主要部分的旋转运动定义为第二旋转轴。第一驱动装置用于产生第一旋转操作的第一驱动力。第二驱动装置用于产生第二旋转运动的驱动力。第一旋转轴和第二旋转轴不正交。