公开号：	US2007064749A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	深紫外激光器
摘要：	为了有效地产生深紫外区域波长的深紫外激光束，并且使之具有高输出，通过四次谐波频率混合器，产生一个约为227nm波长的激光束，该激光束是通过光纤放大区放大波长在1064.0到1065.0nm波长的半导体激光束得到的。另一个光纤放大器放大半导体激光器产生的波长在1557.0到1571.0波长的激光束；在上述频率混合激光束和上述具有1557.0到1571.0波长的半导体激光束的基础上，频率混合器进一步产生波长为198.4到198.7nm的激光束。