| 摘要： | 本发明提供一种用于均匀性校正的系统与方法，例如：满足一个定义的统一规范，同时减小一组选定的限制。系统包括：照明光学系统；一个光机校正系统；一个对比设备；投影光学系统及一个与校正系统耦合的校正模块。校正系统包括：一系列如指状物的调整元件。校正模块用来调整元件以校正非均匀性。本发明还提出一种连续强度积分的离散化方法。照明插槽拆分为具有多个网格点的网格。“光瞳”随后被添加到网格上。本发明还定义了多个第二网格。每个“光瞳”都映射到一个第二网格上，网格中心与“光瞳”中心重合。连续强度积分随后用第一网格、多个第二网格以及“光瞳”间的映射离散化。 |