公开号：	US2007114468A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	EUV光源收集器
摘要：	本发明的仪器与方法包括：一个EUV光源，包括一个收集器，一个椭圆收集镜，其有一个位于等离子起始点的第一焦点，一个位于EUV光源中间焦点的第二焦点；一个碎片防护罩，放置在等离子起始点和椭圆收集镜之间，其包括：一系列的放射状延伸通道，从第一焦点直线延伸到第二焦点，与其对称的，有一条旋转轴，经过焦点直线延伸到一条椭圆收集镜的纵轴。这一系列通道形成于不同的通用刨箔和与其对称的旋转轴之间。这些刨箔从第一焦点放射状直线延伸到第二焦点，而旋转轴，则经过第一焦点直线延伸到一条椭圆收集镜的纵轴。