公开号：	US2007122074A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	MEMS（微电机系统）开关
摘要：	一个MEMS（微电机系统）开关包括一个基板；一个在基板上侧形成的固定电极；固定电极两端形成的信号线；位于信号线上侧的与上述电极有一定距离的联系构件，与信号线的边缘部分接触；支持联系构件移动的支持构件；位于支持构件上侧的可移动电极。