公开号：	US2007127003A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	多波束扫描显微镜
摘要：	多波束扫描显微镜含有N个波束，在Y方向，各波束可执行LM个阶段的独立扫描，因此系统总共可执行NxLM个阶段的扫描。可控制扫描过程，使得过程（1）和过程（2）连续重复LK次，最大放大率为1/LK。其中，L，M，N为大于2的整数，K为自然数。（1）独立波束在Y方向执行扫描，最大放大率下，采样间隔为LK倍。（2）当Y方向LMK阶段的扫描完成后，重复次数少于LK次，扫描跳过（N-1）xLMK+1个阶段。