公开号：	US2007153351A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	能够测量微镜操作频率的微型光学扫描仪
摘要：	一台能够测量微镜的操作频率微型光学扫描仪。改仪器包括：一个基体；在基体上形成并且可以转动扫瞄入射光的微镜；一个在上部有透明窗口的的腔体用于密封基体和微镜；并且至少一个光电探测器用于探测透明窗口的由微镜扫描产生的反射光。