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企业难题需求
公开号: US2007153373A1
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:光学
专利名: 显微镜设备
摘要:本发明提供一种用于显微镜设备的方法,可以有选择性地检测一个样品,用至少一个第一光束束从第一方向或一个第二光束束从与上述第一方向不同的第二方向照射并检验。本发明的显微镜设备包括:一个显微物镜;一个波束偏转装置,其中,波束偏转装置是可操作的,可通过不同的驱动选择耦合第一光束束或是第二光束束进入显微物镜。其中,光束偏转装置的旋转通过驱动来实现,若第一光束束耦合进了显微物镜中,则可以有选择地改变第一光束束的出射方向。
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