公开号：	US7440077B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光仪
摘要：	本发明提供的曝光仪包括：一个装有曝光仪主体6的房间1，曝光仪主体包括一个照明光学系统2，一个刻度线3，一个投影透镜4和一个平台5，供气装置7，13，17和18。这些供气装置放置在房间1中，提供从房间1外取到的空气，为刻度线3周边，平台5，除湿器10供气，除湿器放置在进气口8处，从8处气体将供给到供气装置7、13、17和18，气体通过后将留下一层水膜。